SF6氣體有許多優點，絕緣性能特別方面更勝一籌。SF6氣體長期高電壓運行將會分解有毒有害產物，不但會降低SF6的電氣性能，直接向氣排放將對人身健康構成危脅，部分分解產物極少量就可致人死亡。但是SF6系例的電力設備對加工工藝、材料要求很高，產品價格高；防止SF6氣體漏氣要求高，還需一系列輔助補氣措施；也不能完全排除爆炸的可能；經電弧燃燒后的低氯化合物生成物具有劇毒，威脅人身安全，也易造成環境污染。
  例如：SF6氣體在電弧中的分解和與氧的反應：
  2SF6 + O2 →2SOF2 + 8F（氟化亞硫酰）
  2SF6 + O2 →2SOF4 + 4F（四氟化硫酰）
  SF6 →SF4 + 2F（四氟化硫酰）
  SF6 →S + 6F（硫）
  2SOF4 + O2 →2SO2F2 + 4F（氟化硫酰）
  電氣設備內的SF6氣體分解物與其內的水分發生化學反應而生成某些有毒產物
  例如：SF6氣體分解物與水的繼發性反應：
  SF4 + H2O →SOF2 + 2HF（氫氟酸）
   SOF4 + H2O →SO2F2 + 2HF（氫氟酸）
  SOF2 + H2O　→ SO2 + 2HF（二氧化硫）
  SO2F2 + 2H2O　→ H2SO4 + 2HF（硫酸
  電氣設備內的SF6氣體及分解物與電極（Cu－W合金）及金屬材料（AL、Cu）反應而生成某些有毒產物荒
  例如：SF6氣體及分解物與電極或其它材料反應：
  3SF6 + W　→ WF6（氣態）+ 3SF4
  3F + AL →ALF3（固態粉末）
  3SOF2 + AL2O3 →2ALF3（固態粉末）+ 3SO2
  SF6 + Cu →CuF2(固態粉末) + SF6
  4SF6 + W + Cu →2S2F2（氣態）+3WF6（氣態）+ CuF2（固態粉末）

   電氣設備內的SF6氣體及分解物與絕緣材料反應而生成某些有毒產物。
如與含有硅成分的環氧酚醛玻璃絲布板（棒、管）等絕緣件；或以石英砂、玻璃作填料的環氧樹脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學作用，生成SiF4、Si（CH3）2F2等產物。
   隨著新技術的推廣和新設備、新材料的應用，SF6設備以其安全可靠、維護方便和使用壽命長等優勢，在電力系統中得到了廣泛使用．并對電力系統的安全、經濟、穩定運行起到了重要的作用。但是，使用的SF6設備由多個廠家生產，基本體結構和操作機構多種多樣，不同廠家、不同型號、不同電壓等級的SF6設備，使用的標準也有差別，制作工藝水平也參差不平，給安裝、運行、檢修人員對SF6設備的應用和維護帶來困難、從而影響施工和檢修質量．甚至滲漏氣導致故障的發生．給電力系統的安全運行帶來一定的影響。因此SF6設備中SF6氣體的管理應引起重視。

   1 SF6氣體的運行維護
   1.1 定期巡視檢測。值班員每天應對SF6電氣設備采用紅外線雙波檢漏儀檢進行檢測，若發現泄漏可以檢測出泄漏含量有沒有超標并應立即報告，及時處理。
   1.2 巡視防爆膜。對裝有防爆膜的GIS設備，每天定時巡視，但不得在防爆膜附近停留。發現異常情況要立即報告。若防爆膜破損，要停電進行處理。防爆膜應用汽油或丙酮擦拭干凈。
   1.3 定期檢校報警裝置。每年要對壓力整定值進行檢驗，檢查觸點及報警器是否完好，各導線連接有無松動等。
   2 SF6氣體的水分測量處理
   2.1 含水量的測量。用含水儀測量SF6氣體的含水量。一般每3個月測量1次，穩定后減為每年測量1次。發現含水量有明顯變化時，應進行復測并分析其原因。斷路器氣室運行中的SF5氣體含水量不得大于3*10-4。
   2.2 含水量超標時的處理。經測量SF6氣體的含水量超過允許值時，可用SF6氣體處理車對SF6氣體進行干燥、過濾。對含水量較高的氣室應抽真空，用干燥的氮氣進行置換，并用吸附劑吸收水分。
   3  SF6氣體的充補操作
   3.1 充氣前應對鋼瓶進行真空處理，去除油污水分。氣瓶嚴禁過量充裝，認真實行重量復核。對液態SF6，當充裝壓力為7.8 MPa時，充裝系數不得超過1.2 kg/L。
   3.2 運行中的ＧＩＳ設備補氣采用小型補氣裝置。操作步驟如下：從SF6氣體處理車的進出口分別接出2根高壓軟管，進口側軟管的另一端與氣瓶接口相連接，出口側軟管的另一端與GIS氣室充氣口相連。接牢后，打開氣瓶角閥，SF6氣體從氣瓶經高壓軟管到達進口閥，通過減壓閥、蒸發器、加熱器、過濾閥、逆止閥到出口閥，再通過高壓軟管進入GIS氣室。
   3.3 補氣壓力應根據出口的環境溫度、壓力換算到額定值，補氣量為補氣前后氣瓶的重量之差。補氣12h后要測量SF6氣體的含水量。
   3.4 在室內充補SF6氣體時，必須開啟通風系統，工作區域空氣中sf6氣體含量應在1/1000以下。
   4氣瓶的管理
   4.1 檢查氣瓶外表有無缺陷，安全附件是否齊全。如果懷疑，要進行探傷檢查。每次充氣后要有IAC510紅外線檢漏儀檢查閥體及氣瓶本體的接合處有無漏氣現象。
   4.2 新氣瓶要進行抽樣（30%以上）檢查。充入的SF6氣體應有制造廠的分析報告、生物試驗證書，氣瓶外應掛有氣體檢驗合格證。
   4.3 氣瓶不允許靠近熱源、油污等，也不能曝曬、受潮，應立放在架子上，標志向外。
   4.4 氣瓶運輸時，可以臥放，但應防止巨烈震動。氣瓶裝卸要輕抬輕放，嚴禁氣瓶互相碰撞。卸瓶時不得溜放，更不允許拋卸。